第769章 还是出事了！（2 / 6）

这是由于绝大多数材料会强烈地吸收157nm的光波，只有CaF2勉强可以使用。但研磨得到的CaF2镜头缺陷率和像差很难控制，并且价格相当昂贵。雪上加霜的是，它的使用寿命也极短，频繁更换镜头让芯片制造业无法容忍。

有远见的科学家们，早就看到了未来光刻机的极限。

他们一直在寻求新的突破。

当初李云海提出来，要研制浸润式光刻机。

浸润式光刻机，是指在光刻机投影镜头与半导体硅片之间用一种液体充满，从而获得更好分辨率及增大镜头的数值孔径，进而实现更小暴光尺寸的一种新型光刻技术。

李云海只知道有这么一种技术。

但他只知其然，不知其所以然。

浸润式光刻机技机，具体是怎么样的，他说不出来。

纪文姝在研究出浸润式光刻机，就必须全面了解所有这些学科。

而且全部是最顶尖的学术科技！

李云海也算得博学多才了。

但跟眼前这个女人比起来，简直只能算是稍微读过几本书而已。

他终于明白，为什么纪文姝没有时间应酬和交际。

纪文姝道：“李总，我们现在使用的浸入液是环辛烷。可是我们还存在很多问题没有解决。对浸入液的充入、镜头的沾污、光刻胶的稳定性和气泡的伤害等关键问题，我们都要一一解决。”

李云海道：“多久能解决这些难题？”

纪文姝道：“我现在不好说，难题太多，我们只能一边研究一边攻克。”

2000年以前，业界普遍认为193nm光刻无法延伸到65nm技术节点，而157nm将成为主流技术。

然而，157nm光刻技术遭遇到了来自光刻机透镜的巨大挑战。

因为纪文姝所有的时间，都放到了工作和学习中来。

光是看完这些书，就需要耗费大量的时间和精力！

纪文姝看书，还必须精读，不是那种不求甚解的随便读读，花费的时间就更多。

李云海和纪文姝，又谈到了工作。

纪文姝把科研的进展情况，向李云海作了汇报。