第189章 令人震惊的性能（2 / 3）

这可是连ASML的光刻机都做不到这样的转换效率。

这要是安装在一台顶配的光刻机上，那性能将大大提高，而且耗电量也不用那么的恐怖。

因为极紫外光能够被绝大部分材料吸收，所以必须消耗电力把整个环境都抽成真空。

另外，极紫外光也能被透镜吸收。

因此，将极紫外光集中到一起只能靠反射了。用硅与钼制成的镀膜反射镜，可以用来集中极紫外光。但是极紫外光每被反射一次，能量就会损失三成。极紫外光从光源出发，经过十几次反射，到达晶圆的时候，只剩下不到2％的光线了。

而要得到这样高功率的极紫外光，需要极大的激光器。但是这样的激光器在工作时会产生很大的热量，需要一套优良的散热冷却系统，才能保证机器正常工作，而这又需要消耗大量电力。

据悉，目前AMSL公司的极紫外光刻机的输出功率为250w，要达到这样的输出功率，需要0.125万千瓦的电力输入才能维持，相当于一天要消耗3三万度电.

许黎点点头，随后便带着几人进了实验室。

极紫外光源仿佛一个绝美的宝藏在他们眼前熠熠生辉。

“性能怎么样？”

任老问了一句。

“根据我们反复实验，其最终实际CE值为45%，输出功率为220w。”

可以说，EUV光刻机可是一只吞电巨兽啊！恐怖如斯！

这些电都可以让夏天的小伙伴在家开好几个月的空调了，即使不用空调，也够好几年的家庭用电了。

所以，即使就算造出了极紫外光刻机，那其恐怖的耗电量也能让钱包大大缩水一圈的。

但是现在他听到了什么？

45%的转换效率？

一般衡量EUV光源性能主要有两个指标：转换效率（CE）即在13.5nm附近2%带宽内输出的能量占总输入能量的百分比；以及输出功率，即在中间会聚点（IF）处测得的功率。

“CE值45%？！你确定？”

一旁的张云惊疑了一声。

他虽然是花为管理层，但也是理工出身，加上这些年时不时会学习，与时俱进，自然知道这个数值的意义。

要知道极紫外光刻机的光电转换效率仅仅只有0.02~0.05%左右。